Гибридные турбомолекулярные насосы с интегрированными молекулярными ступенями
| Характеристики | Особенности |
|
- Период между техническими обслуживаниями 20 000 - 30 000 часов - Расчётный ресурс работы насосов от 100 000 часов (около 50 лет работы при стандартном режиме эксплуатации) - Высокая эффективность откачки в широком диапазоне давлений - Высокая быстрота действия при высоких давлениях (больше нет необходимости в использовании двухроторных или бустерных насосов для форвакуумной откачки больших объёмов) - Доступно коррозионно-стойкое или стандартное исполнение - Выполнены по стандартам полупроводниковой промышленности |
- Быстрота действия форвакуумного насоса может быть уменьшена почти в 40 раз по сравнению с классическими турбомолекулярными насосами без увеличения общего времени откачки системы (экономия за счёт использования форвакуумного насоса меньшей производительности) - Конструкция устойчивая к прорывам атмосферы - Встроенная система продувки подшипников - Интеграция в системы управления процессом с помощью цифрового интерфейса RS 232 - Водяное охлаждение для моделей начиная с TG 553 - Самый большой в мире гибридный насос TG5500 для откачки вакуумных камер большого объёма - Возможность использования в широком спектре производственных процессов, в том числе в полупроводниковой промышленности и производстве жидкокристалических дисплеев |