Насосы серии TG-MI сконструированыдля уменьшения скорости конденсации побочных продуктов и скопления отходов технологического процесса внутри турбомолекулярного насоса. Насосам этой серии нет равных по энергоэффективности благодаря использованию запатентованной термоизолированной конструкции компании Osaka и встроенной системы управления температурой.
| Применение |
| - Полупроводниковая промышленность, технологии производства ЖК дисплеев на основе тонкоплёночных транзисторов, микроэлектромеханических систем (MEMS) - Оборудование для травления, когда в технологическом процессе образуются побочные продукты. |
| Энергоэффективное решение от компании Osaka для уменьшения скопления побочных продуктов технологического процесса внутри турбомолекулярного насоса | |
|
- Встроенная в насос система управления температурой позволяет эффективно регулировать температуру внутри турбомолекулярного насоса до 90 °С, предотвращая угрозу износа материла ускоряемых частей насоса, обусловленную теплопереносом от быстровращающегося ротора, продлевая время безотказной работы насоса и период его работы без технического обслуживания! - Запатентованная энергоэффективная термоизолированная конструкия компании Osaka улучшает общий теплоперенос, поддерживая при этом высокую температуру в тех зонах турбомолекулярного насоса где вероятна конденсация побочных продуктов техпроцесса, значительно уменьшая их скопление внутри насоса. |
-Это продлевает срок службы насоса и период его работы без технического обслуживания - в результате увеличивается время безотказной работы насоса! - Уменьшение эксплуатационных расходов и увеличение периода работы без технического обслуживания. |