Серия TG. Гибридные турбомолекулярные насосы с интегрированными молекулярными ступенями и классическими подшипниками
| Характеристики | Особенности |
|
- период между техническими обслуживаниями 20 000 -30 000 часов - расчетный ресурс работы насосов от 100 000 часов (около 50 лет работы при стандартном режиме эксплуатации) - высокая эффективность откачки в широком диапазоне давлений - высокая быстрота действия при высоких давлениях (больше нет необходимости в использовании двухроторных или бустерных насосов для форвакуумной откачки больших объемов) - применяются в установках со сложными условиями эксплуатации - применяются для откачки агрессивных и загрязненных газов - выполнены по стандартам полупроводниковой промышленности |
- быстрота действия форвакуумного насоса может быть уменьшена почти в 40 раз по сравнению с классическими турбомолекулярными насосами без увеличения общего времени откачки системы (экономия за счет использования форвакуумного насоса меньшей производительности) - конструкция устойчивая к прорывам атмосферы - встроенная система продувки подшипников - интеграция в системы управления процессом с помощью цифрового интерфейса RS 232 - водяное охлаждение для моделей начиная с TG 553 - самый большой в мире гибридный насос TG5500 для откачки вакуумных камер большого объема - возможность использования в широком спектре производственных процессов, в том числе в полупроводниковой промышленности и производстве жидкокристаллических дисплеев, а так же в процессах связанных с откачкой агрессиных и загрязненных газов |
Гибридные сухие турбомолекулярные насосы с интегрированными молекулярными ступенями и металлокерамическими подшипниками с консистентной смазкой
| Характеристики | Особенности |
|
- подшипники с консистентной смазкой с ультранизким давлением давлением паров - любое положение в пространстве при монтаже - не требуется смазка подшипников, ресурс подшипников до замены не менее 20 000 часов - расчетный ресурс работы насосов от 100 000 часов (около 50 лет работы при стандартном режиме эксплуатации) - компактная конструкция (небольшой вес и размеры, малогабаритный контроллер) - экономичное энергопотребление - низкие затраты на эксплуатацию и обслуживание - воздушное или водяное охлаждение |
- встроенная система продувки подшипников (для откачки корозионно-активных и конденсирующихся сред) в стандартной комплектации - защита при прорыве атмосферы (нарушении герметичности вакуумной системы) и связанных с этим остановках и пусках электродвигателя (на некоторых моделях) - возможность использования в широком спектре производственных процессов, в том числе в полупроводниковой промышленности и производстве жидкокристаллических дисплеев - есть модели способные эффективно работать при частых напусках атмосферы (актуально для шлюзовых загрузочных камер) |